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單晶硅爐石墨防氧化涂料

簡(jiǎn)要描述:直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場(chǎng),是指為了熔化硅料,并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量,合格的熱場(chǎng)能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng)造良好的熱場(chǎng)條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素,志盛威華ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料可使石墨等多孔材料在高溫下保持很長(zhǎng)時(shí)間不氧化,就保持了熱場(chǎng)的穩(wěn)定性,從而可持續(xù)生長(zhǎng)并拉出高質(zhì)量的單晶。

  • 產(chǎn)品型號(hào):ZS-1052
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-04-11
  • 訪  問  量:717

詳細(xì)介紹

單晶硅拉晶爐的熱場(chǎng)離不開石墨材料(三瓣石墨坩堝及其組件)的高溫下高強(qiáng)度的工作。但是石墨在高溫環(huán)境下容易發(fā)生氧化,氧化后發(fā)生酥化失去應(yīng)有的強(qiáng)度。觀察發(fā)現(xiàn)石墨的氧化程度會(huì)根據(jù)石墨生產(chǎn)中焦炭原料與制備方法有所不同,溫度520-560℃時(shí)24小時(shí)重量損失1%,繼續(xù)升溫下的氧化程度與石墨材料表面狀況(如粒徑,微孔大小、孔隙率、致密程度等)及潛在能量—活化能有關(guān)。溫度高于1200℃以上時(shí),石墨的氧化速度隨著氧的擴(kuò)散會(huì)變得更快。


為了減少石墨的氧化速度,增加它的使用壽命,提高單晶爐的工作穩(wěn)定性及單晶硅的質(zhì)量,單晶硅廠家可以選用志盛威華集團(tuán)自主研發(fā)生產(chǎn)的ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料。該涂料采用的是樹脂主鏈熔斷技術(shù),在高溫高壓的環(huán)境下將交聯(lián)羥基的硅氟樹脂均勻熔斷,形成納米級(jí)的雜環(huán)無機(jī)樹脂單體,成膜后耐溫可達(dá)1800℃。改性后的樹脂單體,在墨中滲透性強(qiáng),包裹性好,可延長(zhǎng)石墨制品在高溫下運(yùn)行壽命5-8倍以上。


直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場(chǎng),是指為了熔化硅料,并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量,合格的熱場(chǎng)能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng)造良好的熱場(chǎng)條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素,志盛威華ZS-1052單晶硅爐石墨防氧化涂料可使石墨等多孔材料在高溫下保持很長(zhǎng)時(shí)間不氧化,就保持了熱場(chǎng)的穩(wěn)定性,從而可持續(xù)生長(zhǎng)并拉出高質(zhì)量的單晶。


單晶爐石墨熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、加熱器、電極、石墨坩堝(多為三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,爐底、金屬電極、托桿等。這些組件都需要做抗氧化處理,才能保證高溫下保持穩(wěn)定的強(qiáng)度和電性能。


志盛威華ZS-1052石墨抗氧化劑,與市場(chǎng)上同類材料相比有很多突出的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):
1.滲透包裹性好:涂料中含有大量改性的納米單體樹脂,滲透包裹性好。
2.附著力高:經(jīng)過改性的柔性無機(jī)樹脂單體單獨(dú)成膜,具有大量的官能團(tuán),與基材形成一體化結(jié)構(gòu)。
3.耐溫高:耐溫可達(dá)到1800度,高溫下氧閥值高,既不與氧化性介質(zhì)反應(yīng),又能防止其進(jìn)入,從而起到防氧化效果。
4.常溫下亦可起到防水防潮的作用。


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